12月15日电,丰茂股份在互动平台表示,光刻机密封部件是保障光刻精度的关键部件,核心作用是密封光路、真空腔室等关键部位,隔绝杂质污染,维持设备内部环境等。公司优势在于深耕精密橡胶材料改性与精密成型技术,公司密封系统产品已应用在汽车、机器人、无人机、工业机械等领域,光刻机密封业务尚处于技术研发与市场拓展早期阶段。
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